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Clusterreport Optik & Photonik

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Clusterreport Optik und Photonik | Optische Analytik 84 Zertifizierte Prüfung von Schichtsystemen und Oberflächen Der Fachbereich „Oberflächenmodifizierung und -messtechnik“ der Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) befasst sich mit der Untersuchung von dünnen Schichten und funktionellen Oberflächen wie Hartstoffschichten (zum Beispiel Verschleißschutz), optischen Schichtsystemen (zum Beispiel UV-Schutz) oder metallischen Überzügen (zum Beispiel Korrosionsschutz oder als elektromagnetische Abschirmung). Zur Bestimmung von mechanischen, optischen, mikrostrukturellen und chemischen Oberflächen- und Schichtkenngrößen, allgemeinen Oberflächen- und Schichteigenschaften wie Oberflächentopographie und -energie, Schichtdicke und Haftung steht eine Vielzahl von akkreditierten Prüfverfahren (DIN EN ISO/IEC 17025) zur Verfügung. www.bam.de/Navigation/DE/Ueber-die-BAM/Organisation/ Organigramm/Praesident/Abteilung-6/fachbereich-67/ fachbereich67.html In-situ-Sensor EpiTT für die Wachstumsanalyse während MOCVD- und MBE-Prozessen © LayTec AG Elektronik, Photovoltaik, Optik, Photonik, Halbleiterindustrie sowie bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Speicherchips und in anderen Bereichen angewendet. Sie überwachen die Wachstumsprozesse benötigter Kristallschichten, etwa bei metallorganischer Gasphasen-Epitaxie (MOCVD) und Molekularstrahlen-Epitaxie (MBE). Das Unternehmen nutzt und kombiniert optische Messverfahren wie Reflexion, emissivitätskorrigierte Pyrometrie, Laser-Deflektometrie, Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie, Streulicht- und Photolumineszenz-Messungen, um die Herstellung von nano-dimensionierten Dünnschichtstrukturen zu überwachen. Man prüft also mittels optischer Verfahren unter anderem Temperatur, Abmessungen, Güte und Oberflächenbeschaffenheit der zu prüfenden Elemente. Das geschieht entweder in situ direkt während des Prozesses oder inline zwischen den einzelnen Beschichtungsschritten von Vielschichtstrukturen, wodurch die Entwicklungszyklen verkürzt und die Prozessausbeute gesteigert werden. Nano-Tribologie und Nanostrukturierung von Oberflächen Analyseverfahren zur Tribologie, Mechanik, Elektrik und Optik auf der Sub-Mikrometerskala sind das Spezialgebiet des Fachbereichs Nano-Tribologie und Nanostrukturierung von Oberflächen der BAM. Eines der Forschungsthemen sind die Struktur-Eigenschafts-Beziehungen von komplexen Polymersystemen. Die Aufklärung einer Vielzahl von Versagens- und Schadensmechanismen an Kompositen, inneren und äußeren Oberflächen und Grenzflächen polymerer Festkörper zu organischen, anorganischen und metallischen Festkörpern ist ein weiterer Schwerpunkt des Fachbereichs. www.bam.de/Navigation/DE/Ueber-die-BAM/Organisation/ Organigramm/Praesident/Abteilung-6/fachbereich-66/ fachbereich66.html www.laytec.de Gerahmte Optiken für hochpräzise Laserstrahlführung in verspannungsoptimierten Haltern © Berliner Glas Group

85 Clusterreport Optik und Photonik | Optische Analytik Optische Beschichtungen Beschichtungen auf unterschiedlichsten Substraten und für Wellenlängen vom VUV bis in den IR Bereich bietet die Berliner Glas Gruppe. Langjährige Erfahrungen mit verschiedensten Beschichtungsarten ermöglichen es dem Entwicklerteam, bestmögliche Lösungen vom Schichtdesign bis zur Serienfertigung zu finden. Zu den kundenspezifischen Entwicklungs- und Beschichtungsaufgaben gehören: Antireflex (AR)- und Spiegel (HR)schichten, Polarisierende und nicht-polarisierende Strahlteiler, verschiedene Filter (Transmission, Kanten-, Laserschutzfilter), Absorptionsschichten, unterschiedliche mechanische Verschleißschutz-Schichten (auch DLC) sowie Bond- und lötbare Schichten. LEED Beugungsbild © greateyes GmbH www.berlinerglas.de Dünnschichtechnologien für Photovoltaik Am PVcomB Kompetenzzentrum Dünnschicht- und Nanotechnologie für Photovoltaik Berlin werden Dünnschicht-Photovoltaiktechnologien und -produkte gemeinsam mit der Industrie entwickelt. Der Technologie- und Wissenstransfer erfolgt in Forschungsprojekten mit industriellen Partnern sowie durch die Ausbildung von hochqualifizierten Fachkräften. PVcomB bietet Unterstützung für Industriepartner bei Produktionsbeginn oder bei der Weiterentwicklung von industriellen Prozessen. Es ermöglicht die Erforschung vielversprechender neuer Hoch-Risiko-Konzepte und betreibt den Transfer und die Hochskalierung von Ergebnissen aus der Grundlagenforschung von Am PVcomB werden Dünnschicht-Photovoltaiktechnologien und -produkte gemeinsam mit der Industrie entwickelt © Berlin Partner für Wirtschaft und Technologie GmbH / Monique Wüstenhagen HZB und TU Berlin bis zur PVcomB-Standardgröße von 30 x 30 cm². Industrielle Partner können die PVcomB-Referenzlinien als Benchmark nutzen, zum Beispiel für neue oder alternative Materialien, Analytik und Prozesskontrollen. In enger Zusammenarbeit mit dem Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie (HZB), der Technischen Universität Berlin (TUB), der Hochschule für Technik und Wirtschaft Berlin (HTW) und weiteren Partnern bildet PVcomB qualifizierten Nachwuchs aus. www.pvcomb.de LEED Bildgebung und Schichtdickenbestimmung im EUV Bereich Mit der Beugung niederenergetischer Elektronen (englisch: Low Energy Electron Diffraction – LEED) kann die Anordnung von Atomen an Oberflächen und in dünnen Filmen untersucht werden. Dabei wird das zu untersuchende Material mit einem Elektronenstrahl beleuchtet. Die an der Proben-Oberfläche gestreuten Elektronen werden auf einem Schirm sichtbar gemacht und bilden dabei ein für die Oberfläche charakteristisches Beugungsmuster. Dieses Muster gibt Auskunft über die Anordnung der Atome und somit über die Beschaffenheit der Probe. Im nebenstehenden Beispielbild (LEED-Beugungsbild) wurde eine Probe mit Elektronen beschossen und das daraus resultierende Beugungsmuster von der Kamera GE 1024 1024 BI MID der Firma greateyes GmbH aufgenommen. Die hohe Empfindlichkeit der Kamera macht auch schwache Beugungsreflexe sichtbar. www.greateyes.de

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