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Clusterreport Optik & Photonik

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Clusterreport Optik und Photonik | Optische Analytik 82 Mit immer weniger Ressourcen immer mehr qualitativ hochwertig produzieren. Das setzt detaillierte Kenntnisse der Produktionsprozesse voraus. Die Firma JP-ProteQ ist in der Entwicklung von Messgeräten, Analysatoren, Sensoren und Automatisierungslösungen tätig. Dafür werden marktübliche Prozessanalysatoren aller Hersteller für die Lösung spezieller analytischer Messaufgaben angepasst und messtechnische Konzepte entwickelt und umgesetzt. www.jp-proteq.com Spektroskopisches Ellipsometer SENresearch © SENTECH Instruments GmbH Dünnschichtanalytik Die Präzisionskontrolle von Dünnschichtprozessen weist wegen ihres hohes Innovationspotenzials und der Entwicklung neuer anorganischer, organischer und hybrider Materialstrukturen besondere Relevanz auf. Sie findet sich in der Schlüsseldiagnostik für Nanotechnologien, Halbleitertechnologien und Materialwissenschaft wieder. Dabei ermöglicht sie die beschleunigte Entwicklung innovativer komplexer Materialsysteme. Die technologischen Herausforderungen sind vielfältig. Sie liegen zum Beispiel in der Weiterentwicklung von Optiken (FIR bis XR), bei Lichtquellen (Miniaturisierung), Detektoren (Empfindlichkeit, Dynamik), Algorithmen zur Datenauswertung, in der Bildverarbeitung/Mustererkennung sowie in der Miniaturisierung und der Optimierung kostengünstiger Systeme für spezifische materialtechnologische Anwendungen. In der Region sind entlang der gesamten Innovationsund Wertschöpfungskette Komponentenentwickler und -hersteller aktiv. Zusätzlich sind starke Forschungspartner mit komplementären Techniken an Großgeräten (Synchrotron) verfügbar und eine starke potenzielle Anwendergemeinschaft ist in den Materialwissenschaften tätig. Reflektometrie an großen Proben Das Produktportfolio der BESTEC GmbH umfasst unter anderem Messsysteme für photon-in/Photon-out-Techniken im Energiebereich vom UV bis zu weicher Röntgenstrahlung, beispielsweise für Spektroskopie, Reflektometrie, Ellipsometrie oder Ramanspektroskopie. Sie dienen der Charakterisierung von Multilagenspiegeln in der Optikindustrie sowie zur Grundlagenforschung an Synchrotronstrahlungsquellen und Freien-Elektronen-Lasern. www.bestec.com Spektroskopische Ellipsometrie SENTECH Instruments mit Sitz im Technologiepark Adlershof ist auf Dünnschichten spezialisiert. Zum Strukturieren und Abscheiden dünner Schichten und Nanostrukturen bietet die Firma Plasmaprozesstechnologie an. Zur Charakterisierung dünnster Schichten verfügt sie über eine breite Auswahl an Reflektometern sowie Laser- und spektroskopischen Ellipsometern. Reflektometersystem für große Proben (Probendurchmesser bis 1500 mm, Gesamtlast bis 800 kg) mit integrierter Quelle und Monochromatorstrahlrohr für den Wellenlängenbereich von 6nm – 20nm. © BESTEC GmbH Ellipsometer von SENTECH können jetzt alle Elemente der Müller-Matrix bestimmen und erweitern so den Anwendungsbereich insbesondere um anisotrope, depolarisierende sowie strukturierte Proben. Weiterhin ermöglicht diese Innovation die genaue Bestimmung von Brechungsindex, Absorption und Schichtdicke durch die Anwendung des Step Scan Analyzer(SSA)-Prinzips. www.sentech.de

83 Clusterreport Optik und Photonik | Optische Analytik In-situ-Spektroskopie Die Entwicklung der In-situ-Spektroskopie, insbesondere Schwingungsspektroskopie, zur Untersuchung von funktionalen organischen Oberflächen und Hybridschichten ist das Hauptziel der Arbeitsgruppe In-situ-Spektroskopie am Leibniz-Institut für Analytische Wissenschaften – ISAS – e. V. in Berlin Adlershof. Insbesondere werden Methoden zu optischen Modellen, Auswertungsverfahren und experimentellen Aufbauten zur In situ-Untersuchung von Schichten und Oberflächen in flüssigen Umgebungen entwickelt (Reflexionsanisotropie-, Ellipsometrie, Ramanund Infrarot – Spektroskopie, IR-Mikroskopie, IR-Mapping-Ellipsometrie bei BESSY II). Kombinierte Labor- und Synchrotronmessungen konzentrieren sich auf die Eigenschaften funktionaler Schichten und die Adsorption von Molekülen auf solchen Oberflächen, zum Beispiel unktionale Polymerbürsten oder spezifische Linkerfilme für Biooder Solarzellenanwendungen. Messkonzepte werden weiterentwickelt, um schneller, mit höherer Empfindlichkeit und höherer lateraler Auflösung zu analysieren. www.isas.de/In-situ-Spektroskopie.573.0.html Bildgebende Spektroskopie an optischen Schichten In der Optik werden dünne Schichten verwendet, um das Reflexions- bzw. Transmissionsverhalten von Oberflächen und optischen Bauelementen für UV-, VIS- und IR-Strahlung gezielt zu verändern. Typische Einsatzgebiete sind die Herstellung von reflektierenden Elementen (zum Beispiel Spiegel) oder die Entspiegelungen von optischen Oberflächen (zum Beispiel Linsen, Objektive, Prismen, Displays, Platten und OLEDs). Dabei kommen hauptsächlich die beiden Materialgruppen Metalle mit hohem Absorptions- oder Reflexionsvermögen sowie dielektrische Materialien mit hoher Transparenz zum Einsatz. sie sicher PVC, sodass die Teile automatisch sortiert werden können. www.lla.de Infrarot-Thermografie Berührungslose Temperaturmessung mit einem Infrarotsensor gehört heute in fast jeder Industriebranche oder im Forschungslabor zum Stand der Technik. Die Berliner Firma Optris GmbH entwickelt, produziert und vertreibt Laser-Handthermometer, stationäre Pyrometer und Infrarotkameras „made in Germany.“ Die Messgeräte sind neben innovativen Einsatzfeldern wie der 3D-Thermografie, der Lasertechnologie oder dem Additive Manufacturing auch in klassischen Prozessen wie der Stahl- oder Kunststoffindustrie zu finden. Beispielsweise haben beim Spritzgießverfahren in der Kunststoffindustrie 60 – 70 % aller formteilbezogenen Fehler, die für unzureichende Qualität und zu lange Zykluszeiten verantwortlich sind, ihre Ursache in der falschen Temperierung der Werkzeuge. Durch den Einsatz der hochauflösenden Infrarotkameras werden thermische Fehler inline bei ihrer Entstehung detektiert. In diesem Fall werden in jedem Zyklus Bilder der Formteile erstellt und anhand einer Referenzbildmethode analysiert. Bei auftretenden Abweichungen wird dem Benutzer ein Alarm ausgegeben. www.optris.de Mit den bildgebenden NIR-Hyperspektralkameras „uniSPECx.xHSI“ der LLA Instruments GmbH können die spektralen Verläufe der Reflexions- und Transmissionsgrade von optischen Bauteilen im Wellenlängenbereich von 350 nm bis 2200 nm ortsaufgelöst gemessen werden. Eine typische Anwendung ist die automatisierte ganzflächige Materialprüfung von Brillen- oder Filtergläsern mit dielektrischen Beschichtungen direkt nach dem Aufdampfprozess im UV-, VIS- und NIR-Spektralbereich. Große Aufmerksamkeit gilt allerdings eine andere Anwendung der Kameras von LLA: Mit ihnen lässt sich sehr schnell Plastikmüll klassifizieren. Zum Beispiel erkennen Thermografische Aufnahme eines Kfz-Cockpit-Teiles mit detektierter Fehlstelle (links) und nach der Optimierung (rechts) © GTT Willi Steinko GmbH Messtechnik für Dünnschichtprozesse Gegründet im Jahr 1999 als Spin-off der TU Berlin hat sich die LayTec AG auf dem Gebiet der prozessintegrierten optischen Messtechnik für Dünnschichtprozesse eine führende Stellung erarbeitet. Die Messsysteme des Unternehmens werden in verschiedenen Bereichen wie Optoelektronik,

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