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Clusterreport Optik & Photonik

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Clusterreport Optik und Photonik | Mikrosystemtechnik 1 06 aller Lebensbereiche Rechnung tragen. Es forscht an Basis- und Querschnittstechnologien für die Anwendungsbereiche Vernetzte Industrie & Produktion, Vernetzte Mobilität & Zukunftsstadt, Vernetzte Gesundheit & Medizin und Vernetzte kritische Infrastrukturen & Energie. www.digitale-vernetzung.org Auch an der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) stellt die Region über das Fraunhofer IZM, Fraunhofer HHI und die Leibniz-Institute IHP und FBH knapp ein Viertel der 13 Partner. 117 der 350 Millionen Euro fließen nach Berlin und Brandenburg. Die Region ist damit neben Dresden der wichtigste Standort für FMD. Das von beiden Gesellschaften miteinander entwickelte Konzept sieht vor, die technologischen Fähigkeiten in einem gemeinsamen Technologiepool zusammenzuführen, Ausstattungslücken abgestimmt zu schließen und die wichtigen Laborlinien für Mikroelektroniktechnologien auf den neuesten Stand bringen. Um Forschungsthemen gezielt voranzutreiben, ist die FMD in die vier Technologieparks „Siliziumbasierte Technologien“, „Verbindungshalbleiter“, „Heterointegration“ sowie „Design, Test und Zuverlässigkeit“ organisiert. Für die Modernisierung und Ergänzung ihrer Anlagen und Geräte erhalten die beteiligten Forschungseinrichtungen insgesamt rund 350 Millionen Euro von dem Bundesministerium für Bildung und Forschung. Mit der Förderung des WissenschaftsCampus GraFOx „Growth and Fundamentals of Oxides for Electronic Applications“ („Wachstum und Grundlagen von Oxiden für elektronische Anwendungen“) setzt die Leibniz-Gemeinschaft klare Akzente zur grundlegenden Erforschung von halbleitenden Oxiden, die sich besonders für die Entwicklung neuartiger (opto-)elektronischer Bauelemente und Energieanwendungen mit herausragender Leistungsfähigkeit eignen – wie zum Beispiel Transistoren zum Schalten von Hochspannungen in der Leistungselektronik, UV-Detektoren, oder Speicherbauelemente. GraFOx wird vom Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik (PDI), einem Leibniz-Institut im Forschungsverbund Berlin e. V., koordiniert. Zu den weiteren Partnern zählen das Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ), ebenfalls im Forschungsverbund, das Fritz-Haber-Institut (FHI) der Max-Planck-Gesellschaft sowie die Humboldt-Universität zu Berlin und die Technische Universität Berlin. http://grafox.pdi-berlin.de www.forschungsfabrik-mikroelektronik.de Galliumoxidprobe auf Chiphalter für elektrische Charakterisierung © PDI Prof. Dr. Johanna Wanka, Bundesministerin für Bildung und Forschung, bei der Eröffnung der FMD © BMBF, Hans-Joachim Rickel Materialwissenschaften, Physik, Chemie, aber auch Elektrotechnik, Informatik und Feinwerktechnik – Mikrosystemtechnik ist ein Forschungsbereich bei dem viele Fachrichtungen zusammenkommen. An der TU Berlin sind mehrere Lehrstühle mit Bezug zur Mikrosystemtechnik im Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien (Fakultät IV) angesiedelt. Im März 2018 neu berufen wurde zum Beispiel die Professur für Silicon Photonics mit Dr.-Ing.

107 Clusterreport Optik und Photonik | Mikrosystemtechnik Lars Zimmermann, der auch die Gruppe Siliziumphotonik am IHP in Frankfurt (Oder) leitet. Er ist auch der wissenschaftliche Koordinator des Joint Lab Silizium Photonik, das TU und IHP gemeinsam betreiben. www.eecs.tu-berlin.de/menue/einrichtungen/institute/ihh Forschung und Industrie Im September 2017 herrschte in Dresden und Cottbus große Freude: Das Dresdner Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS mit seiner Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme MESYS wurde positiv evaluiert. Die Fraunhofer-Projektgruppe, die in Dresden und in Cottbus an der Brandenburgischen Technischen Universität Cottbus-Senftenberg (BTU) aktiv ist, wird von Prof. Dr. Harald Schenk geführt. Er ist gleichzeitig Institutsleiter am Fraunhofer IPMS und Inhaber der Stiftungsprofessur für Mikro- und Nanosysteme an der BTU. Die Gruppe entwickelt eine neue Klasse elektrostatischer Biegewandler. Dazu gehören zum Beispiel neuartige elektrostatische Mikroaktoren – sogenannte nanoskopische elektrostatische Antriebe (engl. nanoscopic electrostatic drives, NED), die in der Mikroakustik und Mikrofluidik Einsatz finden. Die Projektgruppe wird seit dem 1. Januar 2018 als neu gegründetes Institutsteil „Integrated Silicon Systems“ (ISS) an der BTU in Cottbus fortgeführt und somit in die Bund-Länder-Förderung aufgenommen. www.b-tu.de/fg-mikro-nanosysteme www.ipms.fraunhofer.de Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik IHP © IHP/Patrick Pleul Das IHP verfügt über einen 1000 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 1. Dort wird eine Pilotlinie für technologische Entwicklungen und die Präparation von Hochgeschwindigkeits-Schaltkreisen mit 0,13/0,25 µm-SiGe-BiC- MOS-Technologien betrieben. Dieser Service wird auch Kunden aus der Industrie angeboten. Das IHP betreibt acht Joint Labs mit Universitäten der Region (BTU Cottbus-Senftenberg, Universität Potsdam, HU Berlin, TU Berlin, TH Wildau) sowie mit einer polnischen und einer türkischen Universität. Sie sollen die Brücke zwischen der Forschung am IHP und der Lehre und Forschung bei den Partnern bilden. Die Themen reichen von verlässlichen Sensornetzwerken (BTU Cottbus-Senftenberg) über drahtlose Breitbandkommunikationssysteme (HU Berlin) bis zu Siliziumphotonik (TU Berlin). www.ihp-microelectronics.com www.ihp-microelectronics.com/de/joint-labs/uebersicht.html Das IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) ist ein Institut der Leibniz-Gemeinschaft. Am IHP betreiben 320 Mitarbeiter Forschung und Entwicklung zu siliziumbasierten Systemen, Höchstfrequenz-Schaltungen und -Technologien sowie neuen Materialien. Sie erarbeiten Lösungen für Anwendungsbereiche wie die drahtlose Kommunikation und die Breitbandkommunikation, für die Luft- und Raumfahrt, die Biotechnologie und Medizin, die Automobilindustrie sowie für die Bereiche Sicherheitstechnik und Industrieautomatisierung. Eines der Joint Labs befindet sich an der Technischen Hochschule Wildau in der Arbeitsgruppe Photonik, Laser- und Plasmatechnologien. Mitarbeiter des IHP beteiligen sich an der Lehre und Studenten können für Praktika, Bachelor- und Masterarbeiten am IHP arbeiten. Auf diesem Weg sind schon fünf ehemalige Studenten der TH Wildau zu IHP-Mitarbeitern geworden. Aber auch die Forschung profitiert: So arbeiten IHP und TH Wildau gemeinsam im Projekt HOPBIT. Ziel von HOPBIT ist die Entwicklung einer Technologieplattform für die Integration von photonischen Silizium-Organik-Hybrid(SOH)- Bauelementen in eine siliziumbasierte Chiptechnologie.

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